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Untersuchung der Bestückungsgenauigkeit

Zur Ermittlung der Bestückungsgenauigkeiten werden spezielle Glasbauteile mit aufge­brachten, hochgenauen Mustern auf entsprechende Substrate bestückt und diese Be­stückung mit einem Vision-System untersucht. Auf Grundlage dieser Versuche wird die Positionsgenauigkeit in zwei Raumdimensionen betrachtet, als auch eine Aussage über die Winkelgenauigkeit ermittelt. Da für jede Genauigkeitsuntersuchung statistische Un­tersuchungen notwendig sind, wird dieser Prozess mehrfach wiederholt. Zu diesen Wie­derholungen werden zusätzlich die Randbedingungen der Maschine variiert, z. B. die maximale Portalgeschwindigkeit.

Der Prüfprozess hat folgende Form:

Wie Abb. 1 zeigt, gestalten sich Prüfprozesse sehr einfach und in mehrere Messprozesse. Die Messprozesse sollten durch das maschineneigene Messsystem abgebildet werden. Als Bauteil werden verschiedene Glasbauteile bzw. Glas-Chips eingesetzt. Diese Glas-Chips besitzen mehrere Markierungen, welche durch das Vision-System der Ma­schine erkannbar sein müssen. Dies ist in Abb. 2 exemplarisc dargestellt. Dadurch können, wie Abb. 3 beispielhaft darstellt, Vakuum-Tools auf deren Bestückgenauigkeit untersucht werden.

Abb. 1 Prozessschaubild einer typischen Maschinenfähigkeitsuntersuchung

Die ermittelten Werte werden mit einem weiteren Messverfahren verglichen. Dieses Messverfahren nutzt zusätzlich zur Markierung auf dem Glas-Chip ein Referenzmuster auf dem Substrat. Bei diesem Verfahren kann eine manuelle optische Prüfung als auch eine automatische Prüfung durch das Vision-System der Maschine erfolgen. Durch eine statistischen Analyse werden die Datenreihen ausgewertet um Kennzahlen wie die Prozessfähigkeit CpK bzw. Cp zu berechnen oder absolute Messwerte anzugeben.

Abb. 2 Messung auf dem Glas-Chip mit Vision-System

Abb. 3 Vakuum-Tool

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