Untersuchung der Bestückungsgenauigkeit
Zur Ermittlung der Bestückungsgenauigkeiten werden spezielle Glasbauteile mit aufgebrachten, hochgenauen Mustern auf entsprechende Substrate bestückt und diese Bestückung mit einem Vision-System untersucht. Auf Grundlage dieser Versuche wird die Positionsgenauigkeit in zwei Raumdimensionen betrachtet, als auch eine Aussage über die Winkelgenauigkeit ermittelt. Da für jede Genauigkeitsuntersuchung statistische Untersuchungen notwendig sind, wird dieser Prozess mehrfach wiederholt. Zu diesen Wiederholungen werden zusätzlich die Randbedingungen der Maschine variiert, z. B. die maximale Portalgeschwindigkeit.
Der Prüfprozess hat folgende Form:
Wie Abb. 1 zeigt, gestalten sich Prüfprozesse sehr einfach und in mehrere Messprozesse. Die Messprozesse sollten durch das maschineneigene Messsystem abgebildet werden. Als Bauteil werden verschiedene Glasbauteile bzw. Glas-Chips eingesetzt. Diese Glas-Chips besitzen mehrere Markierungen, welche durch das Vision-System der Maschine erkannbar sein müssen. Dies ist in Abb. 2 exemplarisch dargestellt. Dadurch können, wie Abb. 3 beispielhaft darstellt, Vakuum-Tools auf deren Bestückgenauigkeit untersucht werden.

Abb. 1 Prozessschaubild einer typischen Maschinenfähigkeitsuntersuchung
Die ermittelten Werte werden mit einem weiteren Messverfahren verglichen. Dieses Messverfahren nutzt zusätzlich zur Markierung auf dem Glas-Chip ein Referenzmuster auf dem Substrat. Bei diesem Verfahren kann eine manuelle optische Prüfung als auch eine automatische Prüfung durch das Vision-System der Maschine erfolgen. Durch eine statistischen Analyse werden die Datenreihen ausgewertet um Kennzahlen wie die Prozessfähigkeit CpK bzw. Cp zu berechnen oder absolute Messwerte anzugeben.